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扫描电镜（SEM）图像的尺寸标定是为了确保图像上的距离测量与实际物理尺寸相对应。具体做法如下：

1. 使用标准样品进行标定

选用已知尺寸的标准样品（例如具有规则尺寸的金属网、硅球、纳米线等），是可靠的方式。

操作步骤：

在扫描电镜中观察标准样品；

选择合适的放大倍率，获得清晰图像；

使用电镜软件的测量工具，测量标准样品中已知长度在图像中的像素长度；

计算每个像素所代表的真实物理长度（单位如 nm/pixel）；

记录该放大倍率下的像素比例，以用于后续图像分析。

2. 利用电镜自带标尺或标定功能

多数现代扫描电镜系统配有自动标定功能和比例尺生成工具。这些功能一般由制造商预先根据系统硬件参数设置，需注意：

在未更改放大倍率、电压、工作距离前提下，系统自动生成的比例尺通常是准确的；

若调整参数或进行设备维护后，应重新校准；

使用比例尺前，建议用标准样品验证其准确性。

3. 手动添加比例尺

如果图像没有自动生成比例尺，也可以根据已知标定数据手动添加：

根据之前标定获得的比例（如 5 nm/pixel）；

在图像中手动绘制一条线（例如 200 pixels）；

注明其对应长度（如 “1 μm”）作为比例参考。

4. 避免影响标定准确性的因素

保持焦距准确，避免图像模糊；

尽量使样品表面垂直于电子束，防止因倾斜引起尺度失真；

避免使用高噪声、拖影、畸变严重的图像作为标定依据；

不同放大倍率需要分别进行标定。