样品在 SEM 中放置角度会影响图像吗?
日期:2025-05-20
样品在扫描电子显微镜(SEM)中的放置角度确实会影响获得的图像质量和信息。具体影响主要体现在以下几个方面:
信号强度和对比度变化
SEM 的电子束垂直照射样品表面时,反射电子(反射电子成像)和二次电子(形貌成像)信号通常更强,图像对比度较好。如果样品倾斜角度较大,电子束入射角变斜,信号强度可能减弱,导致图像对比度降低或细节不清晰。
形貌和立体感的表现
适当倾斜样品(比如通常倾斜 30° 或 45°)可以增强表面立体感,因为二次电子信号受表面粗糙度和角度影响较大。这种倾斜常用于观察断口、断层、刻蚀结构等,有助于获得更明显的三维形貌信息。
几何畸变和尺寸测量误差
样品放置角度不垂直于电子束时,图像会产生几何投影畸变,测量尺寸时需要校正倾斜角度,否则得到的尺寸数据会偏大或偏小。
元素分析信号的影响
在做能谱(EDS)分析时,样品角度会影响X射线的产生和探测效率,倾斜过大会导致信号减弱或不均匀,从而影响元素定量分析的准确性。
避免阴影效应
如果样品角度摆放不当,特别是高大结构或凸起部分,会在电子束照射下产生阴影,导致图像部分区域信号缺失或变暗。
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作者:泽攸科技
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