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扫描电镜（SEM）拍摄图像出现拖影（smearing、streaking 或 shadowing），通常表现为图像边缘模糊、重复轮廓或拉长的影子。这种现象会影响分辨率和图像质量，可能由多种因素引起。以下是常见原因及对应解决方法：

一、样品相关因素

样品未固定牢固

样品在扫描过程中发生微小移动，会造成拖影。

解决方法：使用导电胶、碳胶带等将样品牢牢固定。确保样品台稳固，避免震动。

样品表面带电（charging）

非导电样品在电子束照射下积聚电荷，会导致图像拖影或亮度漂移。

解决方法：

给样品喷金、喷碳、镀金属等导电处理。

降低电子束电流或加快扫描速度。

使用低电压成像（如 1~5 kV）或开启 SEM 的“低真空”模式（若设备支持）。

二、设备设置因素

扫描速度太慢

长时间扫描若样品略有漂移，会拉出明显拖影。

解决方法：适当提高扫描速度，或在快扫图像定位后，再用中速或慢速采集高质量图像。

电子束聚焦不佳或扫描系统不稳定

聚焦失准、电子束漂移会导致图像模糊或拖尾。

解决方法：

使用 Z 方向（工作距离）微调，再配合 Stigmator 校正。

确保加速电压稳定，避免设备在启动阶段采集图像。

三、环境干扰

机械震动

SEM 对震动非常敏感，轻微的地面或平台晃动都可能造成图像模糊或拖影。

解决方法：

检查是否有外部震源（如空调、脚步、机械）。

使用防震平台或调整 SEM 安装位置。

电磁干扰

强电磁场可能干扰扫描系统，造成图像异常。

解决方法：

检查附近是否有电机、电源、大型电器或无线发射设备。

使用电磁屏蔽或改变设备摆放位置。