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判断扫描电镜（SEM）下样品是否被污染，通常可以通过以下几个方面进行观察和分析：

一、图像特征判断

图像中出现非结构性的颗粒或斑块

特点：这些杂质通常分布不规律，形状和尺寸不一致，与样品本身的微观结构无关。

判断方法：在多个位置或不同样品上反复出现类似杂质，尤其是呈现“漂浮”或“覆盖”状态时，可能是污染物。

图像表面出现油污样模糊或亮斑

特点：图像发虚、区域亮度异常、失去细节，可能是由于油类污染或有机物沉积引起电子散射不均。

出现“柱状条纹”或放射状污染纹理

原因：电子束击穿污染物后，污染沿束线沉积，形成明显的放射状或波纹状结构。

二、操作过程中表现

图像焦点漂移、对焦困难

污染层可能使样品表面电子特性发生变化，导致聚焦不稳定，尤其在连续照射后成像效果变差。

图像变暗或亮度变化异常

随着观察时间增加，图像亮度降低或图像局部变亮，表明可能存在“电子束诱导沉积”——电子束使残留气体沉积在样品表面。

三、EDS 能谱分析辅助判断

成分异常

对污染区域和正常区域进行 EDS 分析，如果污染区域含有不属于样品本身的元素（如 C、O、Si、Na、Cl 等常见污染元素），可能是样品表面被空气中杂质、有机物或残余清洗剂污染。

四、污染来源常见排查点

样品制备不洁净：如未清洗干净、溶剂残留、脱水不彻底。

导电胶或碳带污染：尤其在使用过多或溢出的情况下。

真空腔体不洁：长时间未清理、样品反复放入带入污染。

操作过程引入：如样品暴露在空气中时间过长，或使用非洁净工具接触样品。

五、确认污染的建议方法

对比新样与旧样、不同区域图像：如果新样图像清晰，而旧样模糊或有异物，可能旧样已被污染。

同一位置重复观察：电子束照射时间增加后出现污染征象，说明污染可能与束流诱导沉积相关。

查看对照样品：使用空白样或标准样验证设备是否带污染源。