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在扫描电镜（SEM）成像中，伪影是指非真实反映样品结构的图像特征，常由设备、样品或操作问题引起。判断是否出现伪影，可以从以下几个方面入手：

1. 图像中出现重复或周期性结构

特征：规则条纹、网格状图案、重复的图像元素；

常见原因：电磁干扰、扫描线同步问题、样品上有污染物；

判断方法：观察图像是否存在非自然、周期性的花纹，尤其在不同放大倍率下仍固定存在。

2. 图像边缘或整个画面模糊不均

特征：某些区域清晰，另一些区域始终模糊；

常见原因：样品倾斜、未对焦、充电效应；

判断方法：调整对焦无改善，或模糊区域随扫描区域改变而变化。

3. 出现异常亮点或暗点

特征：不规则的闪亮点、黑点；

常见原因：探测器噪声、样品污染、电子束晃动；

判断方法：相同区域多次扫描是否重复出现，是否与样品实际形貌对应。

4. 图像漂移或重影

特征：图像整体抖动、重影、拖影；

常见原因：样品未固定牢、漂移、扫描速度过慢、真空不稳；

判断方法：是否随时间改变而移动；提高扫描速度后是否改善。

5. 辐照损伤或束斑效应伪影

特征：图像中央区域明显变亮或发黑，或有非自然边缘；

常见原因：电子束照射时间过长、样品敏感；

判断方法：是否随着曝光时间的延长而加重，是否出现在易损材料中。