中文
English

扫描电镜（SEM）完全支持对同一位置进行多种模式的扫描成像。这是它的一大优势，尤其适合材料、电子、地质、生物等领域的综合分析。以下是几种常见模式及其组合方式：

常见可组合的扫描模式

二次电子像（SE，Secondary Electron）

特点：表现表面形貌细节；

用途：观察样品表面结构、颗粒、裂纹等。

背散射电子像（BSE，Backscattered Electron）

特点：对原子序数敏感，显示成分差异；

用途：金属间对比、合金成分区分。

X射线能谱分析（EDS 或 EDX）

特点：元素分析，识别组成成分；

用途：检测样品的化学元素种类和分布。

电子背散射衍射（EBSD）

特点：晶体结构和取向信息；

用途：晶粒尺寸、取向分析、织构研究。

阴极荧光（CL）

特点：某些材料受电子束激发后发光；

用途：地质样品中的矿物分布研究。

电流成像（EBIC）、电位成像（KFM）等高级模式

如何在同一位置执行多种扫描模式

步骤通常为：

锁定目标区域（利用样品台的定位功能）；

首先用 SE 模式对区域成像并聚焦；

切换到 BSE 模式继续观察或采图；

如需化学分析，执行 EDS 点分析、线扫或面扫；

若设备支持 EBSD 等，可接着无缝进行（但需高真空、高角度）。

以上就是泽攸科技小编分享的扫描电镜是否可以给同一位置做多种模式扫描的介绍。