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当扫描电镜 (SEM) 出现真空泄漏时，会导致无法维持所需的真空度，影响成像质量和设备正常运行。以下是详细的排查与解决步骤：

1. 判断真空泄漏的症状

症状一: 真空度无法达标 真空系统报警，无法达到设定的高真空（如 10∼10 Pa10^{-5} \sim 10^{-6} \text{ Pa} 10∼10 Pa）。 

症状二: 真空度下降速度快 真空度在短时间内急剧下降。 

症状三: 泵持续运作且声音异常 分子泵或前级泵长时间运行，且伴随异常声音或震动。 

2. 快速排查真空泄漏的方法

2.1 使用酒精或异丙醇测试

方法: 准备异丙醇或无水酒精，用细长棉签蘸取后，逐一涂抹在疑似泄漏位置（如法兰接口、密封圈、进样口）。 

如果真空度瞬间波动或泵的声音发生变化，则该位置可能有泄漏。 

优点: 简单快速，不会污染真空系统。 

2.2 使用氦质谱检漏仪 (He Leak Detector)

方法: 将 SEM 真空系统与氦质谱检漏仪连接。 

在疑似泄漏处释放少量氦气，如有泄漏，仪器会检测到氦气信号。 

场景: 高精度要求或大面积泄漏无法确定时。 

优点: 高灵敏度 (可检测 10−10 Pam3/s10^{-10} \text{ Pa·m}^3/\text{s}10 Pa\cdotpm/s 级别)。 

3. 常见泄漏点及应对方法

位置原因解决方法

法兰接口 (如 CF, KF, ISO) 螺栓未紧固或密封圈老化 重新拧紧螺栓，更换密封圈 (O型圈) 

进样舱门 (Load Lock) 密封条老化或卡扣未锁紧 更换密封条，检查卡扣并重新锁紧 

电子枪区域 电子枪与腔体接口松动或真空密封不良 拧紧接口或重新打真空密封胶 

视窗玻璃或观察孔 玻璃与金属接口密封失效 更换密封圈或使用真空密封胶 

真空泵与管道连接处 卡箍松动或接口裂纹 更换卡箍或用真空密封带加固 

真空传感器或阀门接口 密封垫圈老化或传感器接口松动 更换垫圈，检查接口并拧紧 

4. 处理与维护建议

 4.1 更换密封组件

O型圈与密封垫: 每 6-12 个月检查一次，必要时更换。 

推荐材质: 氟橡胶 (Viton) 或硅橡胶，耐真空且抗化学腐蚀。 

4.2 使用真空密封胶 (Vacuum Grease)

用途: 在 O 型圈或法兰接触面上涂抹薄层密封胶（如 Apiezon 或 Dow Corning）。 

注意事项: 避免过量: 过多密封胶可能被吸入真空腔污染样品。 

选择合适类型: 低挥发性、耐高温的真空密封胶。 

4.3 检查真空泵与油品

旋片泵 (Rotary Pump): 定期更换泵油（推荐 500-1000 小时或每 6 个月）。 

油品推荐: ULVOIL 或 Edwards 类型的真空泵油。 

分子泵 (Turbo Pump): 检查转速与噪音，必要时联系厂家维护。 

5. 预防措施

定期检漏与维护

每 3-6 个月 进行一次真空检漏，重点检查法兰、进样口与泵接口。 

 避免频繁开关真空系统

原因: 频繁操作易导致密封圈老化与机械疲劳。 

建议: 尽量减少非必要的真空解除操作。 

以上就是泽攸科技小编分享的扫描电镜出现真空泄漏怎么办。更多扫描电镜产品及价格请咨询