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泽攸科技等离子体增强化学气相沉积系统产品(PECVD)介绍

日期:2023-04-19

泽攸科技完全自主研制等离子体增强化学气相沉积系统(PECVD)及二维材料转移台。

产品介绍

等离子体增强化学气相沉积系统(PECVD)及二维材料转移台

多功能电感耦合等离子体增强化学气相沉积系统(CVD)是用来制备高纯、高性能固体薄膜的主要技术,主要借助微波或射频 的方法将目标气体进行电离,促进化学反应在较低的温度下进行,从而在基片上沉积出所期望的薄膜。 

目前项目团队自主研发的CVD设备可在多种衬底上(如金属、氧化物、半导体表面)直接生长以石墨烯为代表的各类新型二维 材料,用于新材料、新器件的研发。工艺简单廉价,且具有传统半导体生长工艺的兼容性。

化学气相沉积系统技术参数

场景案例

场景案例

场景案例

场景案例

场景案例

场景案例

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转移系统

转移台

符合CE认证标准的二维材料转移系统,可用于机械解理 的各种二维材料的转移及二维材料范德华异质结的堆叠,尤其适用于二维材料的准确转角调控。

转移台

样品可以多方向多角度的相对移动,大气环境下也可保 障二维异质结的界面干净无气泡;精巧的设计,全电动 控制,可提供真空环境,也可以轻松置于手套箱中操 作,适用于稳定性较差的二维磁性材料等研究。

转移台

技术参数

案例

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其他配件

高精度流量器

以上内容为安徽泽攸科技有限公司介绍。如果想要了解更多产品信息请您咨询15756003283(微信同号)

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作者:泽攸科技