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在扫描电子显微镜（SEM）中，样品表面的电荷堆积会导致图像失真、亮度变化或无法成像。这种现象通常发生在不导电或弱导电的样品上，因为电子束的轰击会使样品表面积累负电荷。以下是减少电荷堆积的常用方法：

1. 改善样品导电性

（1）涂覆导电层

原理：在样品表面涂覆一层导电材料（如金、铂、碳），形成导电路径，将多余的电荷引导到地。

方法：使用溅射镀膜仪或蒸镀仪涂覆金属层。

使用碳涂层仪进行碳层涂覆。

适用场景：适合需要高分辨率观察的生物样品、陶瓷、玻璃等绝缘材料。

（2）使用导电胶或导电胶带

原理：通过导电胶（如银浆）或导电胶带连接样品与样品台，提供电荷泄放通路。

适用场景：适用于大尺寸或不规则形状样品。

（3）调整样品台的接地

方法：确保样品与样品台的电接触良好，并检查样品台是否正确接地。

2. 调整显微镜的工作参数

（1）降低加速电压

原理：降低电子束的能量可以减少电荷注入，从而减轻电荷堆积。

方法：将加速电压调整到较低范围（如1-5 kV）。

注意事项：加速电压过低可能影响图像分辨率，需要权衡。

（2）减少电子束电流

原理：降低电子束电流减少电子注入量，从而减少电荷积累。

方法：调整电子束的光阑孔径以减少束流强度。

（3）增大样品与电子束的工作距离

原理：增大工作距离可以减弱电子束对样品表面的作用，从而减少电荷堆积。

方法：适当调整工作距离（WD）参数，但可能影响图像分辨率。

3. 改变环境条件

（1）使用低真空模式

原理：低真空模式下，腔体中残余气体分子与样品表面的电荷发生碰撞，中和部分电荷。

方法：切换SEM到低真空或环境模式。

适用场景：不适合涂覆导电层的非导电样品。

（2）引入环境气体

原理：通过引入惰性气体（如氮气），中和样品表面的多余电荷。

注意事项：确保气体不会影响样品或SEM性能。

4. 样品制备优化

（1）增加导电填料

方法：在样品制备过程中添加导电填料（如碳粉、金属粉末）以改善样品导电性。

适用场景：适用于粉末、混合物样品。

（2）薄样处理

原理：薄样化可减少电子堆积区域，从而减轻电荷积累。

方法：使用切片机或抛光设备对样品进行薄片处理。

5. 数据后处理

在某些无法完全消除电荷堆积的情况下，可以通过图像处理软件减少电荷堆积导致的伪影影响。例如：

使用图像平均或去噪处理增强细节。

手动调整图像的亮度和对比度。

以上就是泽攸科技小编分享的扫描电镜如何减少样品表面的电荷堆积。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。