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样品需要根据扫描电子显微镜（SEM）的物理空间和操作要求进行处理，具体尺寸取决于 SEM 样品腔室和样品台的规格。以下是处理样品尺寸时的一些通用注意事项：

1. 样品的物理尺寸

最大直径/尺寸：

SEM 的样品台通常有直径和高度限制，具体取决于设备型号：小型台式 SEM：样品直径通常不超过 10–50 mm。

大型场发射 SEM：样品直径可达 100–200 mm，但较少用满这个尺寸。

高度限制：样品高度通常限制在 10–20 mm 内，过高会导致样品无法转动或调节工作距离。

如何确定尺寸？

查看设备的规格文档，查找 样品室尺寸、样品台负载限制和最大样品尺寸。

通常会提到 工作距离（Working Distance，WD） 的调节范围，需要保证样品不会碰到电子枪或其他部件。

2. 样品的表面平整度

表面要求：样品的表面尽量保持平整，这样可以避免因倾斜导致的图像失真。

如果样品较大，可以切割或打磨成小块。

3. 样品安装方式

样品通常需要固定在 样品托盘 或 样品夹 上，因此样品尺寸应与托盘匹配。常见样品托盘的规格：圆形托盘：直径通常为 25 mm 或 32 mm。

多孔样品台：可以固定多个直径较小（如 10 mm）的样品。

定制夹具：对于不规则或薄片样品，可以使用导电胶、铜箔或夹具固定。

4. 样品的制备工艺

根据 SEM 对样品的要求，处理样品时还需要考虑以下问题：

厚度：

样品厚度应尽量小以减少信号吸收，通常控制在 5–10 mm 以下。对于薄片样品，厚度可以在 1 mm 左右。

切割和抛光：

使用切割工具（如金刚石锯片）切割样品，使其达到所需尺寸。对于材料科学样品，可以进行机械抛光或电解抛光。

5. 样品的特殊尺寸需求

倾斜观察时的调整：

如果需要倾斜观察（如 70° 角用于 EBSD 分析），样品的尺寸应考虑到倾斜后不会碰到设备的顶部或侧壁。

横截面观察：

如果需要观察样品的横截面，可以提前制备横截面小块或通过断裂/切割得到。

6. 特殊样品的处理

粉末样品：使用导电胶固定在样品台上，形成薄层。

生物样品：通常需要脱水、固定和金属镀膜（如 Au 或 Pt 镀膜），处理后尺寸控制在标准样品台范围内。

非导电样品：可能需要导电涂层处理，涂层厚度通常在 5–20 nm，不显著改变样品尺寸。

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