中文
English

电子束光刻机的电子枪类型决定了束流亮度、稳定性、束斑尺寸和维护周期。常见电子枪类型主要有以下几种。

首先，热发射电子枪。

典型材料为钨丝或LaB₆。通过加热阴极产生电子发射，结构简单、成本较低、维护方便，但亮度较低，束斑尺寸较大，分辨率有限。多用于入门级或教学型设备。

第二，肖特基场发射电子枪。

在加热条件下配合高电场增强发射，亮度高于热发射枪，稳定性好，寿命较长，是目前很多中高端电子束光刻系统的主流配置。分辨率和束流稳定性兼顾。

第三，冷场发射电子枪。

不依赖高温加热，在强电场下直接发射电子，具有极高亮度和极小能量展宽，适合极高分辨率应用。缺点是对真空要求极高，维护复杂，成本高。

第四，热场发射枪。

介于冷场与肖特基之间，通过一定温度辅助场发射，提高稳定性和发射效率。