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在扫描电子显微镜（SEM）中，正确找到焦点（焦平面）是获得清晰图像的关键步骤。下面我详细说明操作方法和注意事项：

一、焦点的判断依据

图像清晰度

当样品表面在焦平面时，电子束聚焦最小，图像边缘锐利。

微调焦距时，图像由模糊到清晰再到模糊，最清晰处即为焦点。

对比度和细节

焦点正确时，表面微结构和边缘细节清晰。

离焦时，图像边缘模糊，颗粒或纹理细节丢失。

无拖影或波纹

扫描过程中，焦点偏离会产生条纹、波纹或拖尾。

焦点正确时，图像稳定无抖动。

二、焦点调整操作步骤（通用）

粗调焦

切换到低放大倍率观察样品整体。

调整样品台 Z 轴（上下移动）或电子束工作距离（WD）让图像大致清晰。

微调焦

切换到高放大倍率（如 ×5000 或更高）。

使用 Fine Focus（细调焦旋钮）缓慢旋转。

观察图像清晰度变化，直到边缘锐利、细节最清晰。

对不同区域取平均焦点

如果样品表面不平整，可选择多个区域微调焦距。

对不同区域单独聚焦或调整样品台角度，使表面尽量平行于电子束。

三、辅助方法

自动聚焦

大多数 SEM 有自动聚焦功能。

仪器通过图像锐度算法调整透镜电流，使图像达到最大清晰度。

自动聚焦适合快速定位，但高分辨率下仍需微调。

电子束十字法（Spot Focus）

在高放大倍率下，显示电子束中心区域。

调整焦距直到光斑最小、边缘锐利。

景深判断

SEM 景深大，观察样品表面不同高度区域。

清晰的高度即焦平面。