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扫描电镜中观察颗粒尺寸分布的方法

日期:2025-09-05

在扫描电子显微镜(SEM) 中观察颗粒尺寸分布,通常需要结合 样品制备、图像采集和数据分析。下面我给你整理一个完整流程:

1. 样品制备

颗粒尺寸测量的准确性,很大程度上取决于样品制备。

干燥分散

如果是粉末颗粒,先将样品干燥,避免颗粒团聚。

可在溶剂中分散后滴在载网或样品台上自然干燥。

导电处理

非导电颗粒需要镀 金或碳,防止电子束充电导致图像模糊。

减少堆叠

颗粒尽量分开铺开,避免上下重叠,否则测得的尺寸不准确。

2. SEM 图像采集

放大倍数

选择合适的放大倍数,使颗粒完整显示且分辨率足够高。

放大倍数要保证每个颗粒在图像上至少有几十个像素,方便后续测量。

扫描模式

常用 SE(Secondary Electron)模式,可清晰显示颗粒轮廓。

对于颗粒高度差异大,可适当调整 工作距离 或 景深。

图像质量

调整 加速电压、光斑大小,避免图像过暗、过亮或条纹。

3. 图像处理与尺寸测量

二值化 / 阈值处理

将颗粒轮廓提取出来,生成黑白二值图。

颗粒识别

使用 ImageJ/Fiji、MATLAB 或 Igor Pro 图像分析工具,识别每个颗粒。

可以进行颗粒边缘检测或分割处理。

尺寸测量

颗粒直径:测量等效圆直径 D=πD = \sqrt{\frac{4A}{\pi}}D=,其中 AAA 是颗粒面积。

颗粒长宽比、周长等参数也可计算。

统计分析

将所有颗粒尺寸整理成 直方图或累积分布曲线。

可计算平均粒径、标准差、粒径分布范围。


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作者:泽攸科技