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提升扫描电子显微镜（SEM）的分辨率，本质上就是要让电子束更细、更稳定地聚焦到样品表面，并减少信号干扰。通常可以从以下几个方面入手：

1. 电子光学系统方面

提高电子枪性能

使用 场发射枪，相比传统钨灯丝电子枪，能量分布更窄、亮度更高，电子束更细，从而分辨率更高。

降低加速电压（适度）

高电压下，电子束穿透深、散射强，导致信号来自更大体积区域，分辨率降低。

低电压成像可减少电子与样品的相互作用体积，提升表面分辨率。

但过低电压会导致信号强度不足，需要配合高亮度电子枪和灵敏探测器。

减小光阑孔径

缩小物镜光阑，能减少电子束发散，减小光斑尺寸，提高分辨率。

但过小会降低束流强度，导致信噪比下降。

2. 真空与环境因素

提高真空度

高真空能减少电子散射，保证电子束稳定聚焦。

特别是场发射枪，对真空度要求高。

减小环境干扰

SEM 对震动、磁场、温度漂移非常敏感。

应使用防震台、屏蔽磁场、恒温室来提升稳定性。

3. 样品制备与处理

表面导电化

非导体样品易带电，导致电子束偏转、图像模糊。

需镀金、镀碳或使用低真空/环境 SEM 避免充电效应。

表面清洁与光滑化

污染、灰尘会影响电子与样品的相互作用，降低分辨率。

选择合适的入射角

倾斜样品可增强表面信号，提升分辨率。

4. 信号探测与后处理

选择合适探测器

二次电子探测器（SE）适合表面分辨率提升。

背散射电子探测器（BSE）更多反映成分对比，不利于高分辨率。

优化扫描速度

适度降低扫描速度可提高信噪比，减少图像噪声。

但过慢会增加漂移影响。

图像后处理

利用去噪算法或信号平均，可在一定程度上提升图像清晰度，但无法替代硬件提升。