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扫描电镜（SEM）图像模糊是一个常见问题，通常和 仪器状态、成像参数、样品条件有关。常见原因主要有以下几类：

1. 聚焦不良

电子束没有准确聚焦到样品表面。

工作距离（WD）设置不合适。

需要重新调节 对焦（Focus） 和 消像散器（Stigmator）。

2. 像散（Astigmatism）

电子束在不同方向上的聚焦程度不同，导致图像在某些方向清晰、某些方向模糊。

可通过 消像散校正 来解决。

3. 样品问题

表面不平整，深凹或厚样品导致部分区域不在焦平面上。

非导电样品未镀膜，表面出现 充电效应，使图像漂移、模糊。

样品污染（如碳污染、油污）影响电子信号。

4. 电子束参数不合适

束流过大：导致样品表面损伤或充电加剧。

加速电压过低：电子穿透深度不够，信号不足。

扫描速度过快：采样点少，图像不清晰。

5. 环境和机械因素

实验室震动（地面不稳、泵运行引起的振动）。

电磁干扰（如大功率电器、附近电磁场）。

真空度不够，导致电子束散射。

6. 操作不当

未等真空稳定就成像。

样品台高度或角度设置不合理。