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扫描电镜（SEM）图像突然变暗可能由多种因素引起，需从电子束系统、信号检测、样品状态及环境条件等方面逐步排查。以下是可能原因及解决方案：

1. 电子束相关原因

(1) 电子枪发射电流下降

原因：

钨灯丝老化或断裂。

场发射枪（FEG）阴极污染或发射不稳定。

解决：

检查灯丝电流（Filament Current）是否异常升高（如超过饱和值）。

更换灯丝或对FEG执行Flash操作（加热除污）。

(2) 电子束对中/光阑偏移

现象：图像变暗且伴随分辨率下降。

解决：

重新对中电子束（Beam Alignment），调整聚光镜（Condenser Lens）和光阑（Aperture）位置。

清洁或更换污染的光阑（尤其是长时间使用后）。

2. 信号检测问题

(1) 探测器故障或污染

二次电子（SE）或背散射电子（BSE）探测器异常：

检查探测器高压是否正常（如ET探测器需确认偏压是否施加）。

清洁探测器表面（如闪烁体探测器污染会导致信号衰减）。

解决：

切换至其他探测器（如从SE切换到BSE）验证是否仍变暗。

联系工程师校准或更换探测器。

(2) 信号放大器增益降低

原因：电路故障或设置错误。

解决：

检查PMT（光电倍增管）或前置放大器设置，尝试提高增益（Contrast/Brightness）。

重启信号处理模块。

3. 样品问题

(1) 样品荷电效应（Charging）

现象：图像变暗、闪烁或扭曲，常见于非导电样品。

解决：

降低加速电压（如从15kV降至5kV）。

喷镀金/碳涂层（5~10nm）。

使用低真空模式（如有）。

(2) 样品位置或倾角变化

原因：样品台移动或漂移，导致信号接收角度偏离探测器。

解决：

重新定位样品，确保工作距离（WD）与探测器匹配。

检查样品台稳定性，避免机械漂移。

4. 环境与仪器状态

(1) 真空度下降

现象：图像变暗且可能有闪烁噪声。

原因：镜筒或样品室真空泄漏（如密封圈老化、样品未充分干燥）。

解决：

检查真空计读数，若真空度＞10⁻⁴ Pa需排查漏气点。

重新抽真空或更换密封部件。

(2) 外部干扰

电磁干扰：附近设备（如电机、射频源）导致电子束偏转。

振动：建筑振动或空调气流影响。

解决：关闭干扰源，启用设备防振模式。