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在扫描电子显微镜（SEM）中进行图像的定量测量，关键在于图像已正确标定、设备设置精确，以及测量方法规范。下面是完整的步骤和注意事项：

一、前提条件：图像须已校准倍率和比例尺

定量测量前，确保：

SEM 已校准倍率（Magnification Calibration）；

图像上 比例尺（Scale Bar）是准确的；

不同加速电压、工作距离、放大倍率下的畸变已最小化。

二、基本测量项目

SEM 图像中常见的定量测量包括：

线性尺寸：如粒径、厚度、孔径、缝隙等；

面积与轮廓：颗粒覆盖率、孔洞面积；

角度：晶体边界夹角、微结构方向；

形貌统计：粒径分布、密度等。

三、常见测量方法

1. 使用 SEM 自带的软件

多数扫描电镜软件（如 ZEISS SmartSEM、Hitachi SEM Viewer、TESCAN Essence 等）提供内建测量工具：

直接在图像上点击两点，系统自动按比例尺计算距离；

可设置多种单位（如 nm、µm）；

支持导出测量结果和图像截图。

注意：确保使用的是已保存 原始像素大小和元数据 的图像。

2. 使用图像分析软件

导出图像后可在外部图像处理软件中进行分析：

常用软件：

ImageJ / FIJI：免费、开源，功能强大；

Photoshop / GIMP：适合简单标注，但不适合高精度测量；

Igor Pro / Origin：适合科研用户，处理统计和图形表达。

ImageJ 中的测量流程：

打开图像；

使用已知比例尺标定（Analyze > Set Scale）；

选择测量工具（直线、面积、角度）；

测量并记录值（Analyze > Measure）；

可批量统计多个颗粒、导出结果。

四、避免误差的关键点

样品须处于聚焦状态，否则图像拉伸失真；

使用 适当的工作距离（WD）和加速电压，避免边缘效应；

图像须未缩放（即以原始分辨率保存）；

尽量避免在边缘区域测量（因畸变概率更大）；

对非平面样品，需考虑倾斜角和景深影响；

进行定量前建议使用已知尺寸标准样品进行一次验证。