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扫描电镜图像为什么突然变黑?

日期:2025-04-08

扫描电镜(SEM)图像突然变黑,意味着探测器没有接收到足够的信号或信号完全丧失。这种现象通常是突发性的,可能由以下几类原因引起:

常见原因及应对方法:

1. 电子束突然中断

可能原因:电子枪断束、电源或灯丝老化、灯丝烧断等。

应对:

检查是否有“Gun OFF”或“Emission OFF”提示。

查看灯丝状态,必要时联系技术人员更换灯丝。

检查高压电源是否正常启动。

2. 样品位置移出探测范围

可能原因:样品快速移动、Z轴调节过高、聚焦/拉近时超出工作距离,导致信号丢失。

应对:

重置样品工作距离(WD),一般回到10–15 mm。

将样品台移动回默认安全位置或“home”位置。

降低倍率查看是否还能找到样品轮廓。

3. 探测器故障或关闭

可能原因:二次电子探测器(SE)、背散射电子探测器(BSE)未接通或失效。

应对:

检查探测器是否已打开,电压是否正常。

切换其他探测器查看图像是否恢复。

检查相关信号线和接头是否松动或老化。

4. 样品充电严重

可能原因:非导电样品在高电压下严重充电,电子束被散射或排斥,探测器收不到信号。

应对:

降低加速电压至 5–10 kV。

改用低真空模式或做导电镀膜(如碳或金膜)。

减小扫描范围,短时观察。

5. 真空系统异常

可能原因:真空未达到设定值,导致系统保护性关闭高压。

应对:

检查真空计读数。

确认是否有“Vacuum error”提示。

等待系统抽气完成,或检查是否有漏气。

6. 束流过强导致探测器保护

可能原因:束流过大使探测器保护电路触发,自动关闭信号。

应对:

降低“Probe current”或“Spot size”。

减小曝光时间,避免定点轰击。

7. 图像参数设定不当

可能原因:亮度(Brightness)和对比度(Contrast)设置异常。

应对:

恢复默认图像设置。

手动调节亮度/对比度直到图像可见。

以上就是泽攸科技小编分享的扫描电镜图像为什么突然变黑。更多扫描电镜产品及价格请咨询 


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作者:泽攸科技