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扫描电镜依靠高能电子与样品相互作用产生背散射电子信号来获取成分衬度图像，在多相组分、金属合金、复合薄膜样品观测时，经常出现画面明暗分布紊乱、同材质区域灰度不一致的现象，会干扰材料组分判断与元素分布定性分析。该现象并不会随着加速电压简单消失，即便样品表面经过平整抛光处理，同一物相的不同位置依然出现明显的明暗差异，部分区域还会伴随缓慢的灰度漂移，长时间连续扫描时图像衬度持续变化。这种衬度偏差的形成和探测器接收角度、样品表面微观倾角、样品内部晶体取向都存在关联，背散射电子的发射角度具备很强的方向性，当样品表面存在微小的台阶、起伏或者晶粒取向差异时，相同组分区域的背散射电子逃逸方向不同，进入探测器有效接收窗口的电子数量随之改变。不同型号扫描电镜配备的背散射探测器布局、接收立体角、信号增益电路设计存在区别，环形探测器与分立分区探测器对倾角、取向带来的衬度敏感度完全不一样，部分机型探测器安装位置偏置，对样品倾斜角度带来的信号波动会更加明显。样品内部的晶粒取向衬度也会叠加在成分衬度之上，即便元素组成完全相同的晶粒，因为通道效应，电子散射概率发生变化，在图像上呈现明暗反差，很容易被误判为成分上的区别。在多层膜、颗粒复合体系、烧结陶瓷样品的表征工作中，这种混合衬度会掩盖真实的组分分布信息，给相含量统计、界面分析带来较大干扰，需要结合能谱信号共同对照，才能区分开取向衬度和成分衬度带来的灰度变化。