中文
English

扫描电镜腔体内部残留的有机碳氢化合物，在高能电子束照射下会发生分解沉积，在样品观察区域形成碳污染层，长期观测会逐步遮挡样品原始形貌。

现象：在扫描电镜同一位置持续聚焦观测一段时间后，视场中慢慢出现深色圆形污渍，随着观测时长增加污渍逐步扩大；原本清晰的样品微细边缘慢慢变模糊，线条测量尺寸出现偏差；更换观测位置后新区域成像正常，回到原位置污染痕迹仍然保留。

成因：扫描电镜真空腔体内壁、样品台、夹具上吸附有微量油气、有机挥发物，电子束轰击时，有机物发生裂解，碳元素沉积在电子束照射区域。不同品牌型号扫描电镜的腔体真空等级、冷阱捕集能力参数不同，冷阱捕集效率不足的设备，碳污染产生速度会显著加快。样品本身带有有机残留污染物，会进一步提升碳沉积速率。

改善方案：使用扫描电镜前，充分清洁样品台、样品夹具，去除表面油污与有机杂质；开启扫描电镜配套冷阱装置，吸附腔体内挥发性有机物；尽量缩短扫描电镜在同一点位的聚焦和观测时间，不要长时间定点轰击样品；样品制备阶段充分烘干除气，减少样品自身释放的有机气体；定期对扫描电镜腔体开展烘烤除气，降低腔体内部碳氢化合物本底含量。