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扫描电镜像散怎么调

日期:2024-07-04

扫描电子显微镜(SEM)中,像散是指由于电子束对焦不准确导致图像模糊或失真。像散的调节是通过调整扫描电镜的电子光学系统,使电子束聚焦更加准确,从而获得清晰的图像。以下是调整扫描电镜像散的详细步骤:

1. 确认像散现象

观察图像:在高倍率下观察图像,确认是否存在像散现象。像散通常表现为图像的边缘模糊或者图像在不同方向上拉伸。

2. 粗略调节对焦

初步对焦:使用显微镜的聚焦旋钮,将图像初步对焦,使图像尽可能清晰。对焦不正确会加剧像散现象。

中心区域:在图像的中心区域进行对焦,因为边缘区域可能会受到其他光学畸变的影响。

3. 开启像散校正功能

打开像散校正:找到SEM控制软件中的像散校正选项,通常标记为“Stigmator”或“Astigmatism Correction”。

选择合适的模式:确保选择正确的像散校正模式,一般有X方向和Y方向的校正。

4. 调整像散校正旋钮

X方向调整:慢慢旋转X方向的像散校正旋钮,观察图像的变化。目标是消除图像在X方向的模糊,使图像在该方向上达到较高清晰度。

Y方向调整:同样地,慢慢旋转Y方向的像散校正旋钮,观察图像的变化。目标是消除图像在Y方向的模糊,使图像在该方向上达到较高清晰度。

5. 精细调整对焦

再次对焦:在像散校正后,可能需要再次进行精细对焦。使用显微镜的聚焦旋钮,使图像在当前倍率下达到较高清晰度。

6. 重复调整

反复调整:有时候需要多次反复调整对焦和像散校正,以达到高的图像质量。每次小幅调整旋钮,观察图像变化,逐步优化。

7. 更高倍率检查

提高倍率:将倍率提高到工作范围的上限,检查图像是否仍然清晰。如果高倍率下图像仍有像散,需要在高倍率下进一步调整像散校正和对焦。

8. 保存设置

保存参数:如果显微镜控制软件允许,可以保存当前的像散校正和对焦参数,以便在下次使用相同设置时快速恢复。

9. 定期校准和维护

定期校准:像散校正可能需要定期进行,尤其是在更换样品或改变显微镜设置后。

维护设备:定期维护和校准显微镜的电子光学系统,确保设备始终处于最佳工作状态。

注意事项

样品准备:确保样品准备得当,样品表面应清洁,因为表面不规则和污染物会影响像散校正效果。

操作环境:避免在存在电磁干扰或震动的环境中操作SEM,因为这些因素会影响像散校正和图像质量。

通过以上步骤,可以有效地调整扫描电子显微镜的像散,获得清晰、高质量的图像。

以上就是泽攸科技小编分享的扫描电镜像散怎么调。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。     

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作者:泽攸科技