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扫描电镜可以检测什么信号

日期:2024-04-24

扫描电镜(SEM)主要检测的是与样品表面交互作用后产生的不同信号。这些信号包括:

次级电子(SE)信号:这是SEM中常用的信号之一。当高能电子束照射样品表面时,部分电子会被激发出来,形成次级电子信号。这些电子的能量通常较低,对样品表面的拓扑结构和表面特性具有很高的表面灵敏度。

反射电子(BSE)信号:反射电子是在与样品原子核的相互作用后被反射回来的电子。这些电子的能量通常较高,提供了有关样品成分和结构的信息。BSE信号对于获取有关样品的化学成分和晶体结构的信息非常有用。

X射线信号:当高能电子束与样品表面相互作用时,会激发出X射线。这些X射线的能量与样品中的原子核的成分有关。通过分析这些X射线的能谱,可以确定样品的化学成分。

荧光信号:当样品表面受到电子束照射时,可能会产生荧光,这些荧光信号可以提供有关样品成分和表面特性的信息。

这些信号的检测和分析可以为对样品的成分、结构和表面特性提供详细的信息,使得SEM成为了材料科学、生物学、纳米技术等领域中广泛应用的强大工具。

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作者:泽攸科技