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扫描电镜（SEM）的分辨率通常比光学显微镜高得多，能够实现纳米级别的分辨率。其分辨率受到多种因素的影响，包括电子束的能量、焦距、探针尺寸等。一般来说，常规的SEM系统的分辨率在1到10纳米之间，而一些先进的高分辨率SEM系统甚至可以达到亚纳米级别的分辨率。

以下是影响SEM分辨率的一些关键因素：

电子束能量：电子束的能量会影响其在样品表面的穿透深度和散射范围，从而影响图像的分辨率。一般来说，较高能量的电子束能够实现更高的分辨率。

探针尺寸：探针尺寸指的是扫描电子束的直径，较小的探针尺寸意味着更高的分辨率。现代SEM系统通常配备了精细的探针尺寸调节功能，可以实现纳米级别的探针尺寸。

样品表面特性：样品的表面特性会影响电子束与样品的相互作用，进而影响图像的清晰度和分辨率。对于不同类型的样品，可能需要调整SEM系统的工作参数以获得高质量的分辨率。

焦距：SEM系统的焦距也会影响分辨率，通常情况下，较长的焦距可以实现更高的分辨率。

探测器性能：SEM系统配备的探测器性能也会影响图像的分辨率和质量。一些先进的探测器能够提供更高的信噪比和更好的图像细节。

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