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扫描电镜的深度信息是如何获取的

日期:2023-11-21

扫描电镜(SEM)通常是通过测量电子束与样品表面交互的信号来获取图像。扫描电镜图像主要基于二次电子发射(SE)和反射电子(BSE)的检测。这两种信号提供了关于样品表面形貌、拓扑和化学成分的信息。

二次电子发射(SE): 当高能电子束照射到样品表面时,激发并释放出二次电子。二次电子的发射数量与样品表面的拓扑结构有关,因此通过检测二次电子的发射,可以获取关于样品表面形貌和拓扑的信息。这种信号主要用于获取表面的形貌信息。

反射电子(BSE): 反射电子是由样品中的原子核反射的电子。这些电子的能量与样品的原子序数有关,因此BSE图像提供了关于样品的化学成分和原子序数的信息。BSE图像通常用于观察材料的化学组成和结构。

深度信息的获取通常依赖于扫描电镜的工作模式。在一般的表面拓扑图像中,主要使用二次电子图像。要获取深度信息,可以采用以下方法之一:

焦平面深度信息: 通过调整扫描电镜的焦平面,可以在一定程度上获取样品表面的深度信息。对焦平面的调整会影响二次电子的信号强度,从而提供一些深度信息。

扫描电子显微镜的倾斜视角: 通过倾斜样品或调整电子束的入射角度,可以获得不同角度下的图像,从而获取深度信息。这种方法有助于构建三维表面拓扑信息。

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作者:泽攸科技