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扫描电镜中的电子束对样品有哪些影响和损伤?

日期:2023-09-25

扫描电镜中的电子束与样品相互作用可能导致多种影响和损伤,这取决于电子束的能量、强度和样品的性质。以下是一些可能出现的影响和损伤:

电子束散射和吸收: 电子束在与样品相互作用时可能会发生散射和吸收。这些过程可以导致成像中的对比度变化,尤其是在厚样品中。

样品加热: 电子束的能量会被样品吸收,导致样品升温。这对于热敏感样品来说可能是一个问题,因为高温可以引发样品的结构变化或破坏。

表面电荷: 电子束可以引起样品表面的电子排列变化,导致表面电荷的积累。这可能影响成像的对比度,并导致图像中的伪影。

辐射损伤: 高能电子束可以损伤样品的结构,尤其是有机材料。这种损伤包括断键、氧化和结构退化。

充电和电子漂移: 电子束对样品的电荷引起充电效应,可能导致样品的电子漂移,影响成像的稳定性。

离子化和排出气体: 在高能电子束作用下,样品可能会发生气体解吸和离子化,导致真空系统内的气体排放,影响成像和分析。

伪影和伪结构: 样品的电子束散射和吸收可能会产生伪影和伪结构,影响成像的解析度和准确性。

样品漂移: 电子束可以引起样品的微小位移,尤其是对于不稳定的样品来说,这可能导致图像模糊或失真。

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作者:泽攸科技