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扫描电镜中的电子束产生和控制是关键的操作步骤，它们直接影响到成像的质量和分辨率。以下是电子束在扫描电镜中如何产生和控制的基本原理：

电子束的产生：

电子枪： 扫描电镜的核心部件之一是电子枪，通常包括一个热阴极或场发射枪。热阴极使用热能激发电子，而场发射枪则利用电场来推出电子。这些电子源产生高能电子束。

电子加速： 产生的电子束被加速器加速，通常通过使用一系列电场。这些电场可以控制电子束的速度和能量。

电子束的控制：

透镜系统： 扫描电镜中有一系列电子透镜，包括透镜、对焦透镜和偏转透镜。这些透镜用于控制电子束的焦点和定位。

束缚系统： 扫描电镜还包括束缚系统，它用于控制电子束的直径和发散度。束缚系统通常包括一个或多个孔径和电子镜。

扫描线圈： 电子束的定位和扫描是通过在样品上放置一组电子束偏转线圈来实现的。这些线圈可在水平和垂直方向上控制电子束的位置。

探测器： 扫描电镜通常配备各种类型的探测器，用于测量从样品反射或散射回来的电子信号。不同类型的探测器可以用于不同的成像模式和分析技术，如SEI和BSEI。

电子束控制系统： 扫描电镜的电子束控制由计算机系统负责。用户可以通过计算机界面调整电子束的强度、聚焦、扫描速度和扫描模式等参数。

ZEM20台式扫描电镜

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