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扫描电镜的探针电流对图像质量有何影响?

日期:2023-06-30

扫描电子显微镜(SEM)的探针电流是指通过样品表面的电子束电流。探针电流的大小可以对扫描电镜图像的质量和特性产生影响,主要包括以下几个方面:

信号强度:较高的探针电流会导致更强的信号生成,这对于获取较高的信噪比和图像对比度是有益的。信号强度的增加可以提高图像的亮度和清晰度,使细节更加明确可见。

样品损伤:较高的探针电流可能会对样品产生热效应,导致样品受热、损伤或发生电子束诱导的化学反应。这可能会导致样品的形貌和化学成分发生改变,从而影响图像的准确性和可靠性。

解析度:探针电流的增加会影响扫描电镜的空间分辨率。虽然较高的探针电流可以提供更强的信号,但也会增加电子束的散射和衍射效应,从而降低图像的解析度和细节呈现能力。

表面充电效应:较高的探针电流可能引起样品表面的电子束电荷积累,导致电荷不平衡和表面充电效应。这些充电效应可能会导致图像中出现伪像、扭曲或偏移,并影响材料的真实表面形貌的观察。

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作者:泽攸科技