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扫描电镜是否适用于非导电样品

日期:2023-06-29

传统的扫描电镜(SEM)对于非导电样品确实存在困难,因为非导电样品在高真空环境下容易产生电荷积聚,导致图像质量下降。然而,有几种方法可以克服这个问题,使SEM适用于非导电样品:

导电涂层:可以在非导电样品表面涂覆一层薄导电涂层,如金属或碳。这样可以提高样品的导电性,减少电荷积聚。涂层可以使用蒸镀、溅射或碳沉积等技术进行。

低真空模式:SEM通常具有低真空模式,通过在观察时引入少量气体(如氮气),可以降低真空环境,减少电荷积聚。低真空模式下,样品表面的气体分子可以提供导电路径,减少电子束与样品的相互作用。

水合作用:对于某些非导电样品,水分或水蒸气的存在可以帮助降低电荷积聚。水分子与样品表面发生水合作用,提供导电路径,减少电荷积聚。这可以通过在SEM环境中控制湿度或使用湿态SEM来实现。

金属导电粘合:对于大型非导电样品,可以使用金属导电粘合剂将样品固定在导电支架上。这样可以在SEM观察时提供导电路径,减少电荷积聚。

低电子束能量:降低电子束能量可以减少电子束与非导电样品的相互作用,从而减少电荷积聚。但需要注意,降低电子束能量可能会导致图像分辨率降低。

ZEM15台式扫描电子显微镜

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作者:泽攸科技