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如何处理扫描电镜样品以避免电荷积累和图像失真

日期:2023-05-23

在扫描电镜(SEM)中,电荷积累和图像失真是常见的问题。下面是一些处理样品的方法,以避免电荷积累和图像失真:

样品制备:

样品应尽可能干燥,避免含有水分。水分会导致电子束发生散射并引起电荷积累。

对于非导电样品,可以使用导电涂层(如金或碳)覆盖样品表面,以提高导电性并减少电荷积累。

适当的真空条件:

确保SEM处于适当的真空条件下工作,以减少电子束与气体分子的相互作用。

使用真空泵和减压系统来维持恰当的真空水平。

优化扫描参数:

选择合适的加速电压和探针电流,以避免电子束过强或过弱,从而减少电荷积累。

调整扫描速度和图像积分时间,以避免过长的扫描时间造成电荷积累。

动态扫描模式:

使用动态扫描模式(如线性扫描或随机扫描)而非静态扫描模式,可以减少电荷积累的影响。

动态扫描模式在每个像素位置上停留的时间较短,减少了电子束在样品表面停留的时间,从而减少电荷积累。

降低电子束能量:

对于某些样品,尤其是具有低导电性或易受损的样品,可以降低电子束的能量。较低的能量会减少电子束的穿透能力,降低电荷积累和图像失真的风险。

清洁样品表面:

在样品放入SEM前,确保样品表面清洁,无尘、无油和无杂质。尽量避免使用粘性胶带等粘附物。

优化图像采集:

在采集图像时,使用适当的图像参数,如对比度、亮度和增益,以获得清晰的图像并降低图像失真。

ZEM15台式扫描电子显微镜

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作者:泽攸科技