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台式扫描电镜的对焦一般分为粗调和细调两个阶段。以下是对这两个阶段的具体介绍：

粗调对焦

粗调对焦主要是将样品表面调至显微镜的初级对焦位置，以便进行后续的细调对焦。一般来说，进行粗调对焦时需要先将电子枪调至合适的位置，使其可以照射到样品表面；然后调整样品台位置，将样品表面与电子束聚焦面基本平行，这时样品表面就可以看到清晰的影像，接下来可以通过微调样品台高度和位置，使影像进一步清晰和稳定。

细调对焦

细调对焦主要是在初级对焦的基础上进行的，目的是使影像更加清晰、锐利，甚至可以达到纳米级的分辨率。具体的操作方法有很多种，常见的包括：

调整聚焦补偿：在粗调对焦的基础上，通过调整聚焦补偿，使影像更加清晰、锐利。

调整倍率：在粗调对焦的基础上，通过调整电子透镜的倍率，使影像更加清晰、锐利。

调整工作距离：在粗调对焦的基础上，通过调整样品和探针之间的工作距离，使影像更加清晰、锐利。

调整对比度和亮度：在粗调对焦的基础上，通过调整对比度和亮度，使影像更加清晰、锐利。

ZEM15台式扫描电子显微镜

总之，细调对焦是一个非常复杂、技术含量较高的过程，需要根据具体的实验条件和要求进行细致的调整和优化。

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