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提高扫描电镜分辨力的路径和方式

日期:2022-07-25

提高扫描电镜分辨力的路径和方式,下面泽攸科技小编为您介绍提高扫描电镜的分辨力,主要有两条渠道:首先是解决照明源,只有在入射束流密度足够高的情况下,才能进一步缩小入射束斑,入射束斑足够小,分辨力才能高;其次是尽量提高成像信息的收集效率和探测器的转换灵敏度,接收到的成像信息量越多,图像的信噪比和清晰度也就可以进一步得到改善,又可以返回来进一步减小束斑,从而图像的分辨力也就越高。目前,为提高电镜图像的分辨力,常采用的途径和方式有下列几种。

(1)利用高亮度的场发射电子枪来作电子源的阴极以提高束流密度,从而提高亮度。

(2)缩短工作距离,既可以相对增大信号量、提高信噪比,又可以减小像差,也就是把试样尽量移近物镜极靴,这类似于光学显微镜中的短焦距“浸没透镜”方式。物镜的极靴区是获得高分辨图像的有效部位但由于该处的空间很小,一般只有毫米级的试样才能进得去,而且试样的移动范围很小,操作起来要格外小心,否则容易“四处碰壁”。这种模式由于焦距短,束斑受外界的影响小,像差也小,且能进入到该区域的试样座也要小,小样品台的稳定性相对会比较好,所以在该区域拍摄的照片,其图像分辨力能得到明显提高。

(3)采用透镜内(In-lens)探测器或安装在物镜上方的探测器(TLD-SED),都能明显改善低加速电压和短工作距离时的图像信噪比和分辨力。在WD较小时,不仅可以减小物镜球差和消除传统E-T探测器前端栅网上加速电位带来的影响,而且它接收到的几乎都是在入射束照射下直接产生的二次电子,排除了背散射电子等其他信号所产生的次生或间接的二次电子,因而有助于提高图像分辨力。

(4)使用强磁透镜,这是在透射电镜中装上附加的扫描附件,使试样发出的二次电子在强磁场中被检测、收集成像,即利用透射电镜的扫描附件做出扫描电镜才能完成的二次电子像,而且这种二次电子像的分辨力往往优干同类电子枪的专业扫描电镜。

(5)在物镜的极靴附近加设一个特殊的附加静电装置(Electrostatics Serves),用来同时汇集一次电子并提取二次电子,再加上物镜顶部环形探测器接收的面积大,灵敏度高,在短工作距离下能明显改善图像的信噪比和提高分辨力。

台式扫描电镜

泽攸科技-ZEM15台式扫描电镜

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作者:泽攸科技