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扫描电子显微镜与图像分辨力有关的几个主要因素

日期:2022-05-27

在目前微观形貌的分析研究中,随着半导体器件等高新技术的发展,往往要求对表面的细微结构能够更深入地观察和了解,因此发展高分辨力的电镜一直是生产厂商和用户们所追求的共同目标。要获得一张清晰、高分辨的照片,不仅要有一台性能优越的高分辨力扫描电子显微镜,而且还取决于试样自身的特征和操作人员的工作经验,即要考虑以下几种因素:

(1)入射电子束的束流密度要足够大,而且稳定→电子源的发射问题。

(2)入射电子束的束斑是否足够细、足够旋转对称(圆),涉及电子透镜的设计、加工和装配水平,以及镜筒受污染的影响程度等→探针的形成问题。

(3)二次电子的检测信号和光电转换效率要高→图像信号的接收和信噪比的问题。

(4)试样表面的细节要足够多和细、组分反差要大→试样表面的结构问题。

(5)试样的导电性要好、二次电子产额要高→试样的特征和制备问题。

(6)加速电压和束流的大小、束斑的对中、工作距离和图像的衬度调节等电镜参数的选择要合理→操作人员的工作经验、综合素质问题。

(7)供电电压的波动、地面的振动、周围的磁场和噪声等各种干扰都要尽可能小→环境条件的问题。

台式扫描电镜1.jpg

ZEM15扫描电子显微镜

在实际工作中以上这几个要点很难个个具备都能达到理想状态,但是作为一个专业的扫描电镜应用人员来说,应从多方面入手,综合考虑,如选好电镜的安装环境,尽自己的职责维护好设备和制备好试样,这都是操作人员应该做到的事。电镜参数的合理选择和熟练操作,是操作人员经过努力学习、不断积累经验而应能实现的目标。至于扫描电镜的型号和某些参数的优劣,这超出操作人员的能力范围,只要操作人员能发挥出现有电镜大的潜能,一般都能得到比较好的成像效果。当然,如果能有一台高亮度、高分辨的扫描电镜,那将会更理想。

秉承操作便捷、快速成像、性能稳定的设计目标,泽攸科技自主研发了ZEM15台式扫描电镜,更多关于扫描电镜价格的问题请咨询18817557412(微信同号)

扫描电子显微镜 


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作者:泽攸科技