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扫描电子显微镜的原理

日期:2021-09-07

扫描电子显微镜是各大专业领域广泛使用的重要研究和分析测试工具。本文由泽攸科技小编带大家对扫描电子显微镜的工作原理进行一个比较系统的介绍。

   

扫描电子显微镜是检测样品表面形貌的大型仪器。当具有一定能量的入射电子束轰击样品表面时,电子与元素核和外层电子发生一次或多次弹性和非弹性碰撞。一些电子被样品表面反射,而其余电子则穿透样品逐渐失去动能,最后停止运动而被样品吸收。在这个过程中,百分之99以上的入射电子能量转化为样品热能,剩余约百分之1的入射电子能量激发样品的各种信号。这些信号主要包括二次电子、背散射电子、吸收电子、透射电子、俄歇电子、电子电动势、阴极发光、X射线等。扫描电镜设备利用这些信号获取信息来分析样品。

台式扫描电镜 
ZEM15台式扫描电子显微镜

 

扫描电子显微镜通常至少有一个检测器(通常是二次电子检测器SEI),许多还配备了额外的检测器,如EDS、BSE、WDS、EBSD、CL等,但具体仪器的特殊功能强烈依赖于一个合适的检测器,检测器的安装角度是样品分析室的专业设计,对分析效果有很大的影响。深入了解各种功能机制,可以获得最佳的电子显微镜分析质量。

希望本文的介绍能为对台式扫描电子显微镜的原理的研究提供参考,关于扫描电子显微镜的价格请咨询:18817557412


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作者:泽攸科技