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桌面扫描电镜的成像原理

日期:2021-08-06

 桌面式扫描电镜(Desktop Scanning Electron Microscope)是一种紧凑型电子显微镜,可以放置在实验台上进行操作。其原理与传统(落地式)扫描电子显微镜相同。 组成部分包括:电子发射、电磁透镜、信号检测、真空系统、计算机控制系统。接下来麦迪森小编将主要介绍一下扫描电镜的成像原理。

 

首先通过对两种常见的显微镜成像原理让大家初步了解显微镜的成像原理。

 

1. 光学显微镜

光学显微镜主要由目镜、物镜、载物台和反射镜组成。目镜和物镜都是焦距不同的凸透镜。物镜凸透镜的焦距小于目镜凸透镜的焦距。物镜相当于投影仪的镜头,物体通过物镜变成倒置、放大的实像。目镜相当于普通的放大镜,实像通过目镜变成直立、放大的虚像。

从显微镜到人眼的物体都是倒置放大的虚像。镜子用于反射和照亮被观察的物体。镜子一般有两个反射面:一个是平面镜,在光线较强时使用;另一种是凹面镜,在光线较弱时使用,可以将光线会聚。

 

2.电子显微镜

电子显微镜是根据电子光学原理,利用电子束和电子透镜代替光束和光学透镜,从而可以在很高的放大倍数下对物质的精细结构进行成像的一种仪器。

电子显微镜的分辨能力用它所能分辨的两个相邻点之间的zui小距离来表示。1970年代,透射电子显微镜的分辨率约为0.3纳米(人眼的分辨率约为0.1毫米)。

目前电子显微镜的zui大放大倍数在300万倍以上,而光学显微镜的zui大放大倍数在2000倍左右,所以可以直接观察到一些重金属的原子和晶体中排列整齐的原子晶格通过电子显微镜。

 

          台式扫描电镜

ZEM台式扫描电镜

   

扫描电子显微镜是检测样品表面形貌的大型仪器。当具有一定能量的入射电子束轰击样品表面时,电子与元素核和外层电子发生一次或多次弹性和非弹性碰撞。一些电子被样品表面反射,而其余电子则穿透样品,逐渐失去动能,zui后停止运动而被样品吸收。在这个过程中,百分之99以上的入射电子能量转化为样品热能,剩余约百分之1的入射电子能量激发样品的各种信号。这些信号主要包括二次电子、背散射电子、吸收电子、透射电子、俄歇电子、电子电动势、阴ji发光、X射线等。扫描电镜设备利用这些信号获取信息来分析样品。

 

希望本文的能为对桌面扫描电镜的成像原理的研究提供参考,关于扫描电镜价格请咨询18817557412(微信同号)

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作者:小攸