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扫描电镜主要通过电子束扫描样品表面获得样品信息，具有分辨率高、放大倍率范围宽等特点，已广泛应用于多个领域。今天主要为大家分享扫描电镜的成像原理。

扫描电镜基本原理是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像，获得测试试样表面形貌的观察。当电子轰击样品表面时会产生各种信号，其中包括二次电子、背散射电子和不同能量的光子等。这些信号来自样品的特定发射区域，它随表面形貌的不同而变化。从而可以获得样品的成份、表面形貌、晶体结构等信息。

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