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扫描电镜样品常用镀膜材料有哪些?

日期:2022-12-28

非导电样品绝缘电阻大,在电子束扫描下,样品表面逐渐积累负电荷,排斥入射电子,二次电子发射不稳定,并随机偏转二次电子,造成图像晃动、亮度突变、出现无规则的明暗条纹,也就是所谓的 “荷电效应 ”。

通常在样品表面镀一层导电膜可以提高样品的导电性,表面的负电荷通过导电膜释放入地,消除荷电。电荷释放的前提是膜层须与金属样品台相连接,形成导电通道,此外连续的导电膜也可以提高样品的导热性,减小热损伤。目前常用的镀膜技术为真空蒸发和离子溅射。

常用的镀膜材料有C、 Al、 Cr、 Au-. Pt、 Au-Pd合金。金膜二次电子产率高、覆盖性好、镀膜容易,是常用的材料,但颗粒较大,适用于中低范围的分辨率、两万倍以下的图像。Pt和Au-Pd合金膜的颗粒要细得多,适用于高分辨率图像。 使用场发射电镜对膜层要求更高,至少要在20万倍下膜层不能显现结构,高真空镀Cr可以满足要求o C膜均匀性好,导电导热效率高,又是经济的材料,只是二次电子产率低,不适合高倍图像。

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作者:泽攸科技