泽攸科技PicoFemto扫描电镜热电芯片样品台采用MEMS微加工工艺在原位样品台内构建实验环境，通过MEMS芯片对样品施加热场和电信号等，结合使用EDS等多种不同模式，实现从纳米层面实时、动态监测样品的表征变化。

• 性能指标：

▲ 兼容指定型号扫描电镜

▲ 最高加热温度：1200 ℃

▲ 控温稳定性：±0.1 ℃

▲ 高温下样品漂移：≤0.7 nm/min

▲ 高温下图像分辨率：≤1.2 nm@15kV

▲ 芯片兼容TEM-MEMS原位芯片样品杆

▲ 电压输出最大±200 A，最小±100 nA

▲ 电流测量最大±1.5 A,最小±100 fA

▲ 自动I-V,I-t测量，数据自动保存

▲ 可搭配电学测量