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扫描电镜（SEM）低真空模式适用于不导电或弱导电样品、易充电材料以及含水或易挥发物质的样品。不同品牌 SEM 对低真空模式的参数和工作压力范围略有不同，因此选择时需结合设备规格和实验要求。

低真空模式通过在样品腔体保留少量气体（通常氮气或空气）来中和电子束照射产生的电荷，从而减少绝缘样品表面充电效应。这使得未镀导电膜的生物组织、聚合物、陶瓷、矿物以及粉末材料等可以直接观察，无需复杂前处理。

同时，低真空模式对含水或易挥发的样品也较友好，因为气体环境可以部分抑制水分快速蒸发或样品干缩。对于某些薄膜或柔性材料，也能减少高真空条件下的结构变形。

需要注意的是，低真空模式下成像分辨率通常略低于高真空模式，尤其在纳米级分辨率要求的实验中，需要权衡分辨率与样品保护之间的关系。