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原位样品杆进腔体前需要抽真空吗

日期:2026-02-26

原位样品杆进腔前,一般不需要把整个腔体抽到高真空,但有几个注意点:

先抽杆本体小体积真空或惰性气体吹扫:很多原位杆带有杆腔或小气室,需要先用干净惰性气体吹扫,或用小型泵抽掉空气,减少带入腔体的杂质和水分。

避免直接带入大气:直接把带空气的杆插入高真空腔,会瞬间增加腔体压力,影响真空稳定,并可能污染样品或探测器。

腔体可维持中真空或保护气氛:在一些 SEM/TEM 或原位实验中,腔体可先保持低真空、保护气氛或背压状态,再慢慢把杆推进,同时局部泵抽减少压力波动。

杆和样品预处理:高真空实验中,建议杆和样品表面清洁、干燥,有些实验还会先在烘箱中低温预烘,减少吸附水分和挥发物带入腔体。

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作者:泽攸科技


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