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扫描电镜图像有拖影是哪里的问题

日期:2026-02-25

扫描电镜图像出现拖影,一般不是单一部件坏了,而是扫描、电子束或样品状态不稳定造成的,常见问题集中在这几类:

扫描速度过慢或过快:过慢时样品充电或漂移会被完整记录,过快时信号响应跟不上,也会拉出尾巴。

样品充电效应:不导电或接地不良,电子束扫过后电荷残留,会在扫描方向上形成亮暗拖尾。

样品或台面漂移:热漂移、真空变化或样品未固定牢,长时间扫描时图像会被拉伸。

电子束稳定性差:灯丝老化、束流波动或高压不稳,信号强度随时间变化,就表现为拖影。

探测器或放大器响应慢:信号电路带宽不足,亮度变化跟不上扫描节奏,会产生“尾迹”。

外界振动或电磁干扰:振动或干扰沿扫描方向被积分,同样会形成拖影效果。


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作者:泽攸科技


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