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扫描电镜能看厚的样品吗

日期:2025-10-24

扫描电镜(SEM)一般不适合直接观察厚样品的内部结构,但能在一定程度上观察其表面特征。是否能“看厚样品”,主要取决于以下几个方面:

1. 电子束穿透能力有限

扫描电镜使用的是高能电子束,而电子在物质中的穿透深度很小,通常只有几纳米到几微米。

因此,SEM 主要用于观察样品的表面形貌,电子束无法穿透厚样品去成像其内部。

2. 样品表面须导电

厚样品(如金属块、陶瓷片等)如果表面不导电,会导致电荷积聚,出现图像漂移或噪声。

通常需要对样品表面进行导电镀层(如金、碳等)处理。

3. 样品尺寸受真空腔体限制

扫描电镜工作时需要在高真空下进行,大多数仪器的样品腔空间有限。

若样品过厚或体积太大,可能无法放入样品腔,或电子束无法聚焦到样品的目标区域。

4. 可切割或倾斜观察

若样品较厚,可通过以下方法实现观察:

切割或研磨样品,使其暴露出需要观察的表面;

使用 低角度倾斜台,从不同角度观察表面特征;

对于生物或复合材料,可先用离子束或超薄切片技术制备断面。

5. 特殊情况:低真空或环境电镜

部分低真空 SEM 或环境 SEM 可以观察较厚或非导电样品,因为它们能在一定气压下工作,不需要完全真空环境,对样品厚度和表面电性要求较低。


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作者:泽攸科技