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在扫描电镜（SEM）中实现局部放大，即放大样品上某一特定区域，通常用于观察细节结构或缺陷特征，可以通过以下几种方式实现：

方法一：调整放大倍率（Magnification）

直接方式：

使用 SEM 控制界面中的 “放大倍率”滑块或输入框，逐步放大图像。

鼠标点击或拖动至目标区域后再提升倍率，可实现该区域的放大观察。

放大倍率越高，视野越小，需精准对准目标。

方法二：图像导航功能（Image Navigation）

适用于有图像缩略图的系统：

首先在低倍图像下获得全貌。

使用导航窗口点击目标区域或框选区域，即可快速切换视野。

再手动调高倍率，观察该区域细节。

方法三：电子束移动（Stage 不动）

保持样品平台位置不变，仅移动电子束扫描区域：

使用“Beam Shift”或“Scan Shift”功能微调扫描窗口。

适合对微小区域进行快速放大对准，避免平台移动带来的抖动或漂移。

方法四：平台精细移动实现区域选择

如果目标区域较远或需精确定位：

先用低倍成像观察样品整体。

利用样品台的 X、Y、Z 或倾斜旋转功能，精确移动至目标区域。

然后再逐步提高倍率，查看局部。

方法五：区域放大辅助功能（部分 SEM 软件支持）

在图像中直接框选目标区域。

系统会自动放大该选区并居中显示。

适用于快速局部观察和图像采集。