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扫描电镜观测带有陡峭台阶结构样品时，容易出现边缘增强假象。现象表现为样品凸起结构的棱边位置图像异常过亮，看起来对比度明显高于平面区域，容易误判为样品边缘存在凸起颗粒或者材料组分差异，实际只是电子信号成像带来的伪影，并非样品真实形貌。台阶越高、侧壁越陡，边缘亮带就越明显，在微纳光刻图形、刻蚀沟槽样品观测时该现象尤为突出。不同品牌型号扫描电镜的物镜类型、二次电子收集器几何结构与偏压设置性能参数不同，相同样品条件下边缘增强的亮度幅度差异明显。

成因：电子束打在样品陡峭边缘时，会产生大量斜向发射的二次电子，这类二次电子更容易逃逸出样品表面，并且更容易被探测器捕获；平面区域产生的二次电子大多向各个方向均匀散射，能够到达探测器的信号数量更少，从而造成边缘区域信号强度虚高；高加速电压下电子穿透深度更大，也会略微放大该边缘信号差异。

改善方案：适当降低加速电压，减小电子束穿透深度，弱化边缘额外激发的二次电子；调整样品工作距离，优化二次电子收集角度；降低探测器收集极偏压，减弱边缘二次电子收集效率；观测陡峭台阶样品时结合背散射电子图像做交叉验证，背散射图像受边缘增强效应影响更小；选型时对比不同机型二次电子探测几何结构，台阶形貌观测优先选用能够调控收集偏压的设备。