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台式扫描电镜观测具备高低落差的三维样品，比如粉末颗粒、腐蚀断面、凹凸结构试样时，会出现局部区域聚焦清晰，而高低落差位置画面虚化模糊，无法同时将凸起与凹陷部位的细节完整呈现，降低三维形貌的观察效果。不同设备物镜光阑规格、工作距离调节区间不一样，面对同一份高低起伏样品，景深表现会存在明显差别。

扫描电镜的景深和物镜光阑孔径、工作距离两大核心参数强相关，选用大孔径光阑、工作距离设置过短，会直接造成景深变浅，样品表面轻微的高度变化就会脱离聚焦平面，出现一部分清晰一部分虚化。部分操作人员为追求更高分辨率，一味缩短工作距离，忽略样品本身的形貌起伏，就很容易出现该类现象。样品自身起伏落差过大，超出当前参数下的景深容纳范围，也会造成无法全域清晰成像。加速电压参数匹配不当，过高或者过低都会改变电子束的会聚角度，间接影响景深表现。另外像散没有完成充分校正，会进一步放大虚化现象，原本的景深不足问题会被叠加恶化。样品摆放倾斜角度不合理，高低结构朝向探测器的角度失衡，不同位置二次电子产出量差异大，也会加重视觉上的清晰度不一致问题。