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台式扫描电镜在低倍观测大范围样品区域时，图像中心成像正常，但画面四角出现拉伸、压缩变形，边缘物体轮廓扭曲，测量边角位置样品尺寸会出现明显误差。倍率越低，视场范围越大，边角畸变现象表现越突出，切换至高倍模式之后，畸变情况会明显减弱甚至消失。

产生该现象主要来自扫描偏转系统固有特性，电子束大角度偏转扫描画面边缘区域，束斑入射角度发生偏移，束斑形状产生形变，造成边缘位置成像几何失真。镜筒内部电磁透镜的残余像差，在大视场扫描条件下会被进一步放大。样品放置平面和扫描基准平面没有保持平行，样品倾斜，也会加重边角位置的形变程度。

外部磁场干扰同样会影响偏转线圈工作状态，加剧几何畸变。不同设备的偏转线圈校正算法、透镜装配精度存在区别，畸变表现程度不一样。可以通过调平样品工作台，控制合理的观测倍率区间，执行扫描畸变校正操作，以此改善图像边角变形问题。