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SEM 扫描电镜样品制备注意事项

日期:2026-04-17

扫描电镜(SEM)的成像质量,很大程度取决于样品制备是否规范。正确制备不仅图像清晰,还能保护设备不受污染、延长使用寿命。

样品必须保持干燥、洁净、无松散颗粒。潮湿样品会在真空下释放气体,导致真空度下降、成像漂移,还会污染腔体和探头。表面油污、灰尘会掩盖真实结构,造成图像模糊、异常亮点。

导电性差的样品必须做导电处理,否则会出现电荷积累,表现为图像发亮、漂移、闪烁或细节丢失。处理时要均匀覆盖,避免过厚掩盖微观结构。

样品大小和高度要符合设备要求,固定必须牢固,防止在抽真空过程中松动、脱落,损坏探头和内部组件。样品高度不宜过高,避免撞击镜头。

粉末样品需均匀分散,不堆积、不脱落,必要时使用导电胶固定,防止粉末被吸入设备内部造成故障。

样品制备完成后尽快观测,减少在空气中暴露时间,避免氧化或二次污染,保证成像真实、稳定。


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作者:泽攸科技