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等离子体增强化学气相沉积系统CVD/PECVD应用案例

日期：2022-11-07

CVD应用——Graphene在任意衬底上的无催化生长

CVD应用——外延Graphene/BN异质结与摩尔超晶格

CVD应用——Graphene的各向异性刻蚀技术发展

CVD应用——Graphene的各向异性刻蚀技术发展2

CVD应用——MoS2的原位氧取代掺杂和相变调控

CVD应用——MoS2的原位氧取代掺杂和相变调控2

CVD应用——外延构筑各种MoS2范德华异质结

CVD应用——二/四英寸连续单层MoS2 的取向外延生长

CVD应用——二/四英寸连续单层MoS2 的取向外延生长2



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CVD 化学气相沉积系统 PECVD 等离子体增强化学气相沉积系统应用

作者：admin

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