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PicoFemto原位MEMS-STM-TEM多场测量系统

日期:2019-09-27


PicoFemto原位MEMS-STM-TEM多场测量系统
         该产品是一种革命性的原位透射电子显微镜实验系统,使研究者可以在透射电子显微镜中构建一个可控的多场环境(包括力、热、光、电等),从而对材料或者器件等样品实现多重激励下的原位表征。
 
性能指标
 
 透射电镜指标:
● 兼容指定电镜型号及极靴;
● 可选双倾版本,双倾电学测量样品杆Y轴倾角±25°(同时受限于极靴间距);
 
电学测量指标:
● 包含一个电流电压测试单元;
● 电流测量范围:1 nA-30 mA,9个量程;
● 电流分辨率:优于100 fA;
● 电压输出范围:普通模式±10 V,高压模式±150 V;
● 自动电流-电压(I-V)测量、电流-时间(I-t)测量,自动保存。
 
扫描探针操纵指标:
● 粗调范围:XY方向2.5 mm,Z方向1.5 mm;
● 细调范围:XY方向18 um,Z方向1.5 um;
● 细调分辨率:XY方向0.4 nm,Z方向0.04 nm。
 
光纤指标:
● 多模光纤外径250 um,保证电镜系统真空指标;
● 可选光纤探针、平头光纤;
● 配备快速SMA接头、FC接头;
 
加热指标:
● 温度范围:室温到1000 ℃;
● 温度准确度优于 5% ;
● 温度稳定性:优于±0.1 ℃。

产品特色

 
 可通过简单更换MEMS芯片种类以及不同STM探针为样品施加至多四种激励,实现多种复杂的测试功能,完成以往无法实现的研究。
(1)高温拉伸/压缩(加热芯片+电学STM探针);
(2)热电子发射/场发射(加热芯片+电学STM探针);
(3)三端器件测量(电学芯片+电学STM探针);
(4)电致发光现象研究(电学芯片+光学STM探针);
(5)光电现象研究(电学芯片+光学STM探针)。

 

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作者:小攸


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