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扫描电镜成像如何避免样品表面的充电效应?

日期:2024-01-29

在扫描电子显微镜(SEM)成像过程中,样品表面的充电效应可能会影响图像质量。充电效应主要是由于电子束与样品表面相互作用,导致电荷的累积。以下是一些方法,可帮助减轻或避免样品表面的充电效应:

导电涂层: 在进行扫描电镜成像前,可以在样品表面涂覆一层导电性较好的薄层,如金属或碳。这有助于提高电子的导电性,减少表面充电效应。

样品预处理: 在样品进行扫描电镜成像前,进行一些样品的预处理步骤,例如金属涂层、碳涂层或导电涂层,以减轻充电效应。

低电压成像: 降低扫描电镜的电子束加速电压,可以减小电子束与样品相互作用的强度,减轻充电效应。但需要注意,较低的电压可能降低图像分辨率。

工作距离调整: 调整扫描电镜的工作距离,即样品到电子透镜的距离,可以影响电子束的能量分布。通过适当的工作距离调整,可以减轻充电效应。

电荷补偿系统: 一些扫描电镜设备配备了电荷补偿系统,可以通过引入相反方向的电子流或离子束来抵消样品表面的电荷,从而减轻充电效应。

瞬时图像: 通过在较短时间内获取图像,可以减小电子束对样品的影响,从而减轻充电效应。

避免累积电荷: 尽可能减小电子束对样品的曝光时间,以避免过长的曝光时间导致电荷的累积。

ZEM20台式扫描电镜

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作者:泽攸科技