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扫描电镜图像中的三维效应是如何实现的

日期:2024-01-25

扫描电镜(SEM)图像中的三维效应是通过以下方式实现的:

电子束的扫描: SEM使用高能电子束扫描样本表面。电子束以高速在样本表面移动,与样本发生相互作用。

电子的散射和吸收: 电子束与样本中的原子相互作用,包括散射和吸收。这些相互作用导致了电子的不同透射和散射路径。

探测器测量信号: SEM中配备了探测器,用于测量与样本相互作用产生的信号,包括反射电子、二次电子和后散射电子。

拓扑结构的影响: 样本表面的拓扑结构,即表面的形状和高度差异,会影响电子束的反射和散射。这导致在图像中看到不同部分的明暗和阴影,呈现出表面的三维效应。

后散射电子贡献: 特别是后散射电子是在电子束与原子相互作用后从样本中散射出来的电子。这些电子提供了关于样本深层结构的信息,从而增强了图像的三维感觉。

ZEM20台式扫描电镜

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作者:泽攸科技